我國微機械技術的發展現狀和未來趨勢

我國微機械技術的發展現狀和未來趨勢

發展現狀：我國的微機械技術研究開始于20世紀90年代末，得到了國家科技部、中科院等部門的積極支持，如今已有60余家研發單位進行該領域的研究。我國在微機械技術領域的研究幾乎涵蓋了整個領域的研究范疇，在產品方面研發出了微壓力、微紅外、微流量、微觸覺、微力、微化學等傳感器和微加速度計、微閥、微噴嘴、微型汽輪機、微生物芯片、微光譜儀、微機器人等等；基層理論方面，在微型機械運動學、機械動力學、機械摩擦學、機械力學等方面得到了長足的進步；微機械制造方面，在DEM 技術、微細激光加工等技術上取得了一系列的突破；微裝配技術方面，微操作系統技術水平不斷提高，例如西安交通大學研發的微裝配作業系統裝配精度達到5 μm。

未來趨勢：微機械技術的發展趨勢可以歸納為以下幾點：（1）應用領域不斷擴大；（2）交叉性進一步加強；（3）智能化水平不斷提高；（4）集成性不斷提高；（5）功能密度不斷提高；（6）功能執行性能不斷提高。

綜上所述，航天傳感器新型號對技術與產品的需求，只有依靠微機械技術才能實現。作為21 世紀最為關鍵的技術之一，微機械技術應用于航天傳感器技術中必將占領傳感器領域的主導地位，航天傳感器技術將隨著微機械技術的不斷發展而進一步發展。在以往設計中，液壓缸底厚度比缸筒壁大得多，致使焊接中由于壁厚相差大造成了傳熱散熱的不均，致使缸底和和缸筒難以良好融合，容易出現掉底現象。

采用V 型焊縫也容易導致缸底裂縫，可將缸底的焊縫改為U 形的坡口，減小缸底和缸筒焊接厚度，從而使缸底焊接厚度與缸筒相近，并使焊縫稍與缸底底部較厚的部分保持一段距離，讓缸底焊接的部分也形成U 形坡口，保持傳熱和散熱均勻，減少了截面的突變量，減小應力集中，提高了焊縫的質量。